Winzige Sensoren lassen reale und virtuelle Welt zusammen kommen
MEMS-Sensoren im Rasterelektronenmikroskop: Das Bild zeigt die feinen geätzten Silizium-Strukturen eines Beschleunigungssensors von Bosch. Als Größenvergleich ist auf dem Chip zudem ein Insekt abgebildet. Die langen, diagonal durch das Bild laufenden Silizium-Strukturen messen die Beschleunigung. Sie sind rund 500 Mikrometer lang und nur etwa 3 Mikrometer dick. Ein Mikrometer ist der tausendste Teil eines Millimeters (0,001 Millimeter). Die Fühler des Insekts sind rund 500 Mikrometer lang. Die Aufnahme ist nachträglich am Computer eingefärbt worden.
(Bild: Bild: Bosch)
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